多区滤波片

在单一基板上实现不同的光谱性能对光学的应用设计具有极大的优势。我们提供组装的多区滤波片阵列和图案化多区光学滤波片（MZF），或称多光谱滤波片（MSF）以满足这些日益增长的市场需求。多区光学滤波片MZF涵盖以下功能：

类型

·       长通或短通滤波片（LPF / SPF）

·       带通滤波片（BPF）

·       陷波滤波片

·       黑色吸收镀膜

·       防反射镀膜（AR）

·       高反射镜（HR）

波长范围

·       紫外波段（300nm）到长波红外波段（LWIR 10 um）

·       根据用户需求定制尺寸、光谱性能和布局（区域数量及大小）

·       整体图案阵列

·       拼图式阵列

·       组装 / 图案化混编组合

应用范围

·       多光谱成像：遥感（环境分析，空间应用等）

·       多区域滤镜轮：3D影院投影

·       光谱仪或光感元件（CCDs）

我们提供的多区光学滤波片（MZF）利用业界领先的硬介镀膜技术，满足甚至超过太空使用的耐用性和可靠性要求（标准MIL军规）， 以应对多波段、多光谱等复合成像的市场需求。其坚固的粘接技术可以组装造多达十个不同光谱的滤光片，轻松实现<100μm的区域间过度，将单一探测器变成多光谱成像设备。

上图是在3um至13um之间涵盖10个带通的多区光学滤波片（MZF）。

对于过渡区域较小的需要，可以通过光刻技术在直径150毫米的晶圆上做图案化处理，可以实现多达5个，过渡间隔仅为20μm的不同光谱区域的过度，如下图。